硬质合金模具的磁控溅射加工工艺发展
发布时间:2014-05-17 10:42:08浏览次数:
硬质合金模具的磁控溅射加工工艺发展:
磁控溅射是20世纪70年代迅速发展起来的新型溅射技术,目前已在工业生产中实际应用,磁控溅射的镀膜速率与二级溅射相比提高了一个数量级,具有高速,低温,低损伤等优点,高速是指沉积速率快,低温和低损伤是指基片的温升低,对膜层的损伤小,1974年蔡平发明了适用于工业应用的平面磁控溅射吧,对进入生产领域起了推动作用。
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